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哈尔滨工业大学(深圳)外延层厚度与微结构分析系统意向公开
信息来源: ******[查看]
|地区:广东
|类型:采购公告
基本信息
信息类型:采购公告
区域:广东
源发布时间:2025-03-27
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******大学(深圳)外延层厚度与微结构分析系统意向公开
采购单位:******大学(深圳)
项目名称:外延层厚度与微结构分析系统
预算金额(元):2,800,000.000
采购品目:光学式分析仪器
采购需求概况:采购一台傅里叶变换红外光谱仪和一台微纳结构检测系统。傅里叶变换红外光谱仪用于外延层厚度分析,支持最大晶圆尺寸8英寸,膜厚测量范围1nm~200μm,测试精度±0.1nm。微纳结构检测系统是一台定制化原子力显微镜,用于外延层上刻蚀微结构的粗糙度、垂直度检测。支持测量模式:接触、智能扫描、轻敲、相位成像、抬起、暗抬起;扫描范围:不小于90μm x 90μm x 10μm;支持最大晶圆尺寸:6英寸;Z方向噪音水平:<0.5?;XY方向噪音水平:<0.15nm。
联系人:简老师
联系电话:******
预计采购时间:2025-05
备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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快照:2025-03-27
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